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集成电路测试实训室建设参考

集成电路测试实训室从半导体材料级别开始测试,到芯片提取,到芯片中测及成测,能够满足半导体器件物理,集成电路制造工艺,集成电路封装与测试,集成电路版图设计等课程的实训。

含有概括电子线路测量试验实训室建造设计参考
含有概括电子线路测量试验实训室从半导体材料级别开始测量试验,到芯片提取,到芯片中测及成测,能够适用《半导体器件物理》、《含有概括电子线路制造工序技艺》、《含有概括电子线路封装与测量试验》、《含有概括电子线路版图设计》等课程的实训,同时能展开一体化教学。含有概括电子线路测量试验实训室,以"工学集合"为指导思想,突出技术服务和技术研究的理念,集合本专业的人才培养方案,联合行业企业,以"培训-实训一体化"等多种形式,建成功能完备、技术先进、集教学、培训、技术服务于一体的校内实训室。与现有的含有概括电子线路设计实训室集合,可有效地实行含有概括电子线路版图的提取,适用《含有概括电子线路版图设计》及《含有概括电子线路设计实训》课程的实训内容。实训室运用率经计算,按微电子技术专业一级2个班开展,秋季的实训室运用率为31.6%,春季为51.1%。
按照专业特别点,按照"理实一体"的原则,积极探索教学型实训室的建造设计模式,专业技能实训内容全部有对应设备,营造与生产作业现场相一致的职业教育环境,将企业先进的管理理念、管理方法与职业文化引入到校内实践教学基地的管理与文化建造设计中,使实训室既要适用本专业对人才职业技术技能培训的需要,成为学员职业技能和职业素质的实训中心,又要考虑可持续发展的需求,同时强化社会效益与经济效益,向社会开放资源,努力发展成为中小电子企业提供研发、小批量测量试验等技术服务的校企互动平台,为社会提供培训和技能鉴定的场所。
含有概括电子线路测量试验实训室功能建造设计目标细分如表1所示。
表1 功能目标建造设计细分表

序号 功能 功能目标细分
1
教学 实训内容 硅芯少子寿命测量试验、检磷棒少子寿命测量试验、检硼棒少子寿命测量试验、籽晶少子寿命测量试验、半导体材料电阻率测量试验、半导体材料方块电阻测量试验、PN结正向压降温度(℃)(℃)特性测量试验、亚微米级别芯片版图查看及版图提取、4″、5″、6″的晶圆测量试验、粘晶、键合、各类芯片的中测、各类芯片的成测
课程、教学图纸文档实训指导书及实训指导书研发 含有概括电子线路封装与测量试验、含有概括电子线路可靠性等课程及教学图纸文档实训指导书及实训指导书研发
2 培训 可开展含有概括电子线路电子线路测量试验实操工培训
3 科研、技术服务 依托实训室先进设备和教研室师资力量,实行横向科研项目


建造设计思路:
--电子信息产业的发展,含有概括电子线路相关产业发展迅速,在含有概括电子线路产业链岗位群中,含有概括含有概括电子线路设计、制造、封装和测量试验。其中设计是整个产业链的龙头,是自主创新和知识产权的具体体现,它不仅引领含有概括电子线路技术和设备的发展,同时直接推动着整机设备的升级换代。制造居于产业链中的核心地位,近期发展迅速的DFI(可制造性设计技术)就集中地体现了制造业的中坚作用。封装测量试验是产业链后端的支柱,搭建了芯片与电子系统之间的桥梁,是产业链中唯一贯穿于设计、制造、封装全过程,而而而且形成设备后持续和长久地延伸到设备应用全过程的产业,在产业链条中独具全程性、闭环性和设备应用的社会性,是适合高职毕业生就业的岗位,目前周边地区乃至全国对含有概括电子线路封装测量试验高技能人才需求旺盛。
含有概括电子线路测量试验实训室选用的测量试验机,分选机是业界常用的含有概括电子线路测量试验仪表器具设备,组建造设计置有真实含有概括电子线路测量试验作业岗位情境的教学环境,帮助学员切实理解含有概括电子线路业内新封测工序技艺路线。为今后校企联合培养人才以及开展相关研究提供了充分的技术保证。
建造设计内容:
我院微电子技术专业针对含有概括电子线路产业从材料开始到设计、制造直到封装测量试验等产业开设的课程如图1所示。


图1 产业与课程对照图
含有概括电子线路测量试验实训室针对这些课程我们拟选取开设以下项目。具体项目与课程的对照表如图2所示。本实训室将购置半导体少子寿命测量仪,不仅适用来硅片少子寿命的测量,更适用来硅棒、硅芯、检磷棒、检硼棒、籽晶等多种不规则形状硅少子寿命的测量;四探针测量试验仪能测量试验半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻);PN结正向压降温度(℃)(℃)特性实训仪能测量试验PN结正向压降温度(℃)(℃)特性。电子显微镜能大放大到400倍,能查看到亚微米级别的芯片内部版图,并按照版图来提取电子线路。微电子晶圆检验测量试验平台能对4″、5″、6″的晶圆实行测量试验。刺晶显微镜座能将划片好后的管芯刺到PCB板上去。点胶机和恒温烤箱的集合能完成粘晶。大功率(W)(W)金丝球焊机能完成键合。IC测量试验教学系统和IC测量试验半自动分选系统集合能实行芯片的开路测量试验、短路测量试验、作业电流(A)(A)测量试验、功能测量试验、及芯片极值测量试验等。可调直线DC稳压电源、双通道信号发生器、双通道数字示波器集合搭建的外围电子线路能完成芯片的具体功能数值测量试验。本实训室拟建造设计真实生产环境的实训室,以适用本专业及专业群相关实训实训教学及社会相关技能培训的需要,实训室布置示意如图3。其中右列分别为晶圆测量试验平台、点胶机、恒温烤箱、焊机;后面一排及左列下面两个为IC测量试验机及半自动分选机及测量试验台;左下角为储物储物柜子,上半部分展示晶圆及芯片,下半部分做存放各类工量具之用;左上角为电子显微镜及刺晶显微镜座。本实训室与企业专家、技术能手合作编写生产实训指导书,使实训实训教学内容符合当前企业生产具体。



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